超高精度可编程真空压力控制器（压强控制器/温度和气压控制器/张力控制器）

High Precision Programmable Vacuum Pressure Controller & Temperature Controller

一、简介 依阳公司出品的VPC2021系列控制器是一种强大的多功能高度智能化的真空压力温度测量、显示和控制仪器，采用了24位AD、16位DA、0.01%最小输出百分比和人工智能PID控制技术，可与各种型号的真空压力传感器（真空计）、流量计、温度传感器、位置传感器、电动调节阀门和加热器等连接，可实现高精度真空压力（压强）、流量、温度和张力等参量的定点和程序控制，是一种替代国外高端产品的高性能和高性价比控制器。 二、主要技术指标

（1）测控精度：±0.05%FS（24位ADC），16位DAC，双浮点运算。
（2）输入信号：可连接众多真空压力传感器，47种信号输入类型（电压、电流、热电偶、热电阻）。

（3）控制输出：4种控制输出类型（模拟信号、固态继电器、继电器、可控硅），可连接众多电动调节阀。

（4）控制精度：±0.1%FS（16位DAC），控制输出最小百分比0.01%。

（5）控制算法：PID控制和自整定（可存储和调用20组PID参数）。
（6）控制方式：定点和程序控制，最大可支持9条控制曲线，每条可设定24段程序曲线。
（7）控制周期：50ms。
（8）通讯方式：RS 485和以太网通讯。
（9）供电电源：交流（86-260V）或直流24V。
（10）外形尺寸： 96×96×136.5mm （开孔尺寸92×92mm）。

三、特点和优势

（1）高精度24位数据采集、16位控制输出和双浮点运算使得此系列控制器具有超高精度（优于0.1%）的控制能力。

（2）具有各种不同类型信号的输入功能，可覆盖多种测量传感器，既可连接真空计用来控制真空压力和压强，也可用来控制其它变量，如连接流量计用来控制流量、连接温度传感器用来进行温度控制等。

（3）可连接和控制几乎所有的电动调节阀和数字控制阀门，也可连接控制各种加热装置，结合传感器由此组成可靠的闭环控制系统。

（4）控制器体积小巧和使用灵活，即可独立做为面板型控制器使用，也可集成在测试系统整机中使用。

（5）采用了标准的MODBUS通讯协议，便于控制器与上位机通讯和进行二次开发。

（6）具有正反向控制输出功能，可实现真空压力的两种控制模式，一种是可变气流量（上游控制）压强控制模式，另一种是可变通导（下游控制）流量调节模式。

（7）可连接两个传感器，并可进行自动切换，由此可实现扩展测量量程和传感器备份。

上游控制模式	下游控制模式
上游和下游同时控制的双向模式

四、外形和开孔尺寸

五、功能说明

（1）超高精度PID控制器的特殊功能（1）——远程设定点功能及其应用

（2）超高精度PID控制器的特殊功能（2）——远程控制软件及其安装使用

（3）超高精度PID控制器的特殊功能（3）——变送功能及其应用

（4）超高精度PID控制器的特殊功能（4）——分程控制功能及其应用

（5）超高精度PID控制器的特殊功能（5）——传感器线性化处理功能及其应用

六、典型应用

（1） 气压对材料热导率测试影响的试验研究

（2） 星际空间环境地面模拟——气氛、气压或真空度的精确模拟及控制

（3） 高纯度熔融石英圆筒等离子熔融工艺研究-真空度（压强）控制系统

（4） 真空度（气压）控制中的上游模式和下游模式的特点及其新技术

（5） 彻底讲清如何在真空系统中实现压力和真空度的准确测量和控制

（6） 真空冷冻干燥过程中压力和真空度控制的最佳操作实践

（7） 微波等离子体高温热处理工艺中真空压力的下游控制技术及其装置

（8） 微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统中真空压力控制装置的国产化替代

（9） 高精度压强（真空）和温度同时控制技术在光谱测量和光谱仪中的应用

（10）具有双传感器自动切换功能的双通道24位高精度PID控制器

（11）CVD和MPCVD法钻石生长过程中采用双通道PID控制器控制真空度（气压）和温度

（12）电动针阀在上游模式以及电动球阀在下游模式真空度（压强）控制中的考核试验

（13）氢燃料电池膜电极漏率测试方法中存在的问题及改进措施

（14）国产化替代艾默生ER5000系列电子压力控制器及其功能扩展

（15）压降法在高温土壤气体渗透率测量中的应用及其实施方案

（16）美国MKS公司上游流量控制阀及其控制器的国产化替代

（17）真空浓缩过程中新型PID控制器和高速电动阀门对温度和压强的精确控制

（18）真空压力控制技术在低温恒温器高精度温度恒定中的应用

（19）手套箱中真空度和温度控制方法的详细教程

（20）真空激光粉末床融合中的气氛环境压力控制

（21）英福康（Inficon）VDE016和普发（Pfeiffer）EVR116气体控制阀及其控制器的国产化替代

（22）电动针阀和双通道控制器在真空冷冻干燥高精度压力控制中的应用

（24）微纳卫星电热等离子体微推进器羽流特性测试中的低气压精确控制方法

（25）探空仪检定用低压环境模拟舱压力控制系统的升级改造

（26）瑞利-布里渊散射光谱测量中温度和压力的精确控制方法

（27）阶梯光栅光谱仪中压力的精密控制技术及其实施方案

（28）迈克尔逊激光干涉仪微位移和倾角测量中的真空度精密控制技术

（29）数控阀门在MOCVD工艺真空压力精密控制中的应用

（30）旋转蒸发仪：真空、温度和旋转的集成式控制器及其耐腐蚀数控调节阀

（31）真空微波干燥（VMD）过程中真空度、温度和转速的精密控制

（32）真空脉冲卤制工艺中的真空度和温度快速和精密控制技术

（33）气密真空冷热台的真空度精密控制

（34）月壤环境地面模拟试验装置中的真空度精密控制技术方案

（35）蒸发浓缩工艺中降低溶剂损耗的真空度精密控制解决方案

（36）低压渗碳工艺中的真空度精密控制解决方案

（37）采用真空压力精密控制的吸附夹具实现超低损耗单模光纤熔融拉锥制作

（38）玻璃塑形吹气压力自动控制解决方案

（39）超导重力仪器中的超高精度温度（0.1mK）和气压控制解决方案

（40）数字针阀在便携式真空计校准装置中的应用

（41）高精度气体压力控制中TESCOM ER5000及其配套背压阀的国产化替代案例分析

（42）CVD工艺中MKS下游排气高速节流阀的国产化替代方案及产品

（43）工业减压蒸馏工艺中大流量耐腐蚀快响应精密真空控制的解决方案

（44）低压缓冲罐的真空度精密控制解决方案

（45）低压与高压（负压与正压）之间的真空压力连续控制解决方案

（46）呼吸阀在线检验校准装置中的正负压连续精密控制解决方案

（47）循环肿瘤细胞（CTCs）检测仪器进样系统微小正负压精密控制的解决方案

（48）用于微流控芯片的多通道正负压力控制器解决方案

（49）CVD和PECVD管式炉真空控制系统的升级改造

（50）步进电机驱动比例阀在气腹机精密压力和流量控制中的应用

（51）电气比例阀作为先导阀结合真空背压阀和外置传感器实现低气压控制的考核试验

（52）扫描电子显微镜（SEM）低真空技术改造以提升观测能力的解决方案

（53）真空钎焊炉中大流量正负压循环控制的解决方案

（54）温度敏感材料干燥过程中的真空度精密控制解决方案文件管理

（55）工业应用中0.1%超高精度PID控制器的实现及其关键指标分析

（56）表压0.1~0.6MPa范围内0.1￿%超高精度压力控制解决方案及其考核试验结果

（57）电气比例阀外接压力传感器和PID控制器实现微正压的超高精度控制

（58）彻底讲清电气比例阀和压力传感器测控精度的基本概念及其使用方法

（59）三种典型电气比例阀线性度和短期重复性的对比考核试验

（60）PVT法碳化硅SIC单晶生长工艺真空压力控制装置的国产化替代解决方案

（61）采用电气比例阀级联控制法实现研磨机超高精度压力控制

（62）微焊接中真空控制系统的压力调节解决方案

（63）采用串级控制法实现注塑工艺高压压力精密控制的解决方案

（64）超高精度浮辊和张力双回路控制器：Montalvo张力控制器的国产替代

（65）串级、分程、比值、前馈、选择性和三冲量六种复杂控制系统简述

（66）高压流变仪用TESCOM ER5000高精度压力控制系统的国产化替代方案

（67）真空干燥粉体材料工艺中避免扬尘排放等安全隐患的解决方案

（68）防热材料热性能测试和炭化过程中的氧分压精密控制方法

（69）电气转换器（I-P电流型、E-P电压型）与电气比例阀的基本原理和对比

（70）更安全、精密和快速的一次性生物反应器袋充气压力控制的解决方案

（71）短程分子蒸馏器的升级改造以实现高精度的真空控制

（72）高精度真空压力控制仪在昆虫学实验用自动气压室中的应用

（73）超高精度PID串级控制器和电气比例阀在轮胎硫化饱和蒸汽外温变温控制中的应用

（74）具有备份传感器功能的超高精度PID调节器以保证控制过程的安全性

（75）双通道PID调节器用于热离子发电装置中真空压力和温度的同时控制

（77）实验室用冷冻干燥机实现高精度压力和真空度控制的解决方案

（78）采用压力串级控制法实现气动马达高精度调节的解决方案

（79）双层玻璃反应釜高精度真空压力（正负压）控制解决方案

（80）阀门定位器的技术演变及其更新换代——电气比例阀

（81）代替塞规的高精度孔径测量方法——泊肃叶压差法

（82）低温刻蚀和沉积工艺中制冷系统的压力和温度准确控制解决方案

（83）反重力铸造调压技术——高精度快速压力控制解决方案

（84）低温超导测试系统中实现高精度液氦压力控制的解决方案

（85）几种温度跟踪控制方法及其超高精度多功能PID控制器

（86）医用球囊和导管成型过程中自动和手动精密压力控制的解决方案

（88）血液透析过滤芯气密性检测装置中的精密压力控制解决方案

（89）高精度真空度控制技术在液相电子显微镜液体厚度调节中的应用

（91）咖啡和茶饮品低温冲泡和充氮中的真空压力控制解决方案

（92）高精度真空度程序控制在真空解冻过程中的应用

（93）在PID控制器上如何实现正弦波等周期性变量的控制

（95）伸缩和压力双参数精密控制在气囊抛光中的应用

（96）脉冲激光高阶谐波产生器的真空系统结构及其精密控制解决方案

（97）热波法导热系数测试中的正弦波温度控制解决方案

（98）啤酒生产工艺中的压力可编程自动精密控制解决方案

（99）一种新型低造价低压电子束焊接机中的真空控制系统

（100）真空压力精密控制技术在食物油炸过程中的应用

（101）热释电系数测试中帕尔帖半导体制冷片正弦波温度控制解决方案

（102）温度PID串级控制器在提高空气膜分离制氮产量中的应用

（103）彻底讲清如何实现各种单晶炉的0.1%超高精度真空压力控制

（104）24位AD和16位DA超高精度PID串级控制器在张力控制中的应用

（105）真空压力控制方法在X射线探测器窗口薄膜材料杨氏模量测量中的应用

（107）半导体封装用除泡烤箱真空压力可编程PID控制的解决方案

（108）调制式差示扫描量热法MTDSC中实现正弦波温度控制的解决方案

（109）超高真空度自动控制解决方案：手动可变泄漏阀与电控针阀和组合

（110）半导体设备中的超高精度微正压控制解决方案

（111）帕尔贴热电装置在形状记忆合金相变温度测量中的应用

（112）高精度串级控制器在印刷和喷绘设备油墨流量控制中的应用

（113）工业PID调节器相对于可编程逻辑控制器PLC的几大优点

（114）正负压力高精度控制在隐形牙齿矫治器热成型工艺中的应用

（115）换热器热疲劳试验装置的温度交变控制解决方案

（116）耐腐蚀流量调节阀和混合调节功能PID控制器在次氯酸消毒剂制备中的应用

（117）超高真空度调节用安捷伦和VAT电动可变泄漏阀的国产化替代

（118）长光程气体吸收池的真空压力精密控制解决方案

（119）包括高真空、低真空和正压压力的全量程高精度控制解决方案

（120）微反应器中的精密压力控制解决方案

（121）微流控压力控制器和微流控注射泵的性能比较

（123）串级控制在微流控芯片气压驱动进样系统高精度流量调节中的应用

（124）真空和压力控制技术在离体肺通气装置中的应用

（125）红外锁相法无损检测中的高精度热波控制解决方案

（126）电子针阀冷却流量闭环控制技术在降低电主轴热误差中的应用

（127）石英灯和石墨加热器热真空试验装置中的低气压控制解决方案

（128）慢速减压控制技术在预防同步辐射光源和原位透射电镜氮化硅窗口膜破裂中的应用

（129）气相色谱仪负压微量进样装置的高真空度控制解决方案

（130）三轴仪月壤制样和力学性能测试中的超高真空度控制解决方案

（131）气体扩散层（GDL）涂布工艺中的高精度微张力控制解决方案

（132）采用液氮压力恒定和辅助加热技术实现超高精度低温控制的解决方案

（133）气管插管球囊压力自动控制解决方案

（135）超导材料LK-99烧制工艺中高真空度及其气氛环境控制的解决方案

（136）铜卡计混合法比热容测定仪的绝热量热计温度精密控制解决方案

（137）双闭环比值控制中的耐腐蚀高速针阀和多功能PID控制器解决方案

（138）单晶硅太阳能电池热氧化工艺中的正负压力精密控制解决方案

（139）温度疲劳试验系统中的石英灯和液氮气体加热制冷控制解决方案

（140）MEMS密封件漏率和内部真空度监测的间接氦质谱检漏法

（141）百度文心一言在开发高真空度精密控制装置中的应用案例

（142）真空压力和流量控制技术在环境扫描电子显微镜样品杆流体处理中的应用

（143）高温高压反应量热计样品池温度绝热和外部压力补偿的解决方案

（144）超高真空度精密控制中的皮拉尼计和电离规信号线性化处理解决方案

（145）具有超强冷却能力的新型膜基散热器的压力和温度控制解决方案

（146）微间隙气体放电特性分析中的不同压力精密控制解决方案

（147）真空工艺和仪器设备中的真空度控制关键部件的国产化替代现状

（148）低温结霜可视化实验装置中的精密真空度控制策略