高精度可编程真空压力控制器（压强控制器/温度和气压控制器）

High Precision Programmable Vacuum Pressure Controller & Temperature Controller

一、简介 依阳公司出品的VPC2021系列控制器一种强大的多功能高度智能化的真空压力测量、显示和控制仪器，采用了24位数据采集和人工智能PID控制技术，可与各种型号的真空压力传感器（真空计）、流量计、温度传感器、电动调节阀门和加热器等连接，可实现高精度真空压力（压强）、流量和温度等参量的定点和程序控制，是一种替代国外高端产品的高性能和高性价比控制器。 二、主要技术指标 （1）测量精度：±0.05%FS（24位A/D）。 （2）输入信号：可连接众多真空压力传感器，32种信号输入类型（电压、电流、热电偶、热电阻）。

（3）控制输出：4种控制输出类型（模拟信号、固态继电器、继电器、可控硅），可连接众多电动调节阀。

（4）控制算法：PID控制和自整定（可存储和调用20组PID参数）。
（5）控制方式：定点和程序控制，最大可支持9条控制曲线，每条可设定24段程序曲线。
（6）控制周期：50ms。
（7）通讯方式：RS 485和以太网通讯。
（8）供电电源：交流（86-260V）或直流24V。
（9）外形尺寸： 96×96×136.5mm （开孔尺寸92×92mm）。

三、特点和优势

（1）高精度24位数据采集，使得此系列控制器具有高精度的控制能力。

（2）具有各种不同类型信号的输入功能，可覆盖多种测量传感器，既可连接真空计用来控制真空压力和压强，也可用来控制其它变量，如连接流量计用来控制流量、连接温度传感器用来进行温度控制等。

（3）可连接和控制几乎所有的电动调节阀和数字控制阀门，也可连接控制各种加热装置，结合传感器由此组成可靠的闭环控制系统。

（4）控制器体积小巧和使用灵活，即可独立做为面板型控制器使用，也可集成在测试系统整机中使用。

（5）采用了标准的MODBUS通讯协议，便于控制器与上位机通讯和进行二次开发。

（6）具有正反向控制输出功能，可实现真空压力的两种控制模式，一种是可变气流量（上游控制）压强控制模式，另一种是可变通导（下游控制）流量调节模式。

（7）可连接两个传感器，并可进行自动切换，由此可实现扩展测量量程和传感器备份。

上游控制模式	下游控制模式
上游和下游同时控制的双向模式

四、外形和开孔尺寸

五、典型应用

（1） 气压对材料热导率测试影响的试验研究

（2） 星际空间环境地面模拟——气氛、气压或真空度的精确模拟及控制

（3） 高纯度熔融石英圆筒等离子熔融工艺研究-真空度（压强）控制系统

（4） 真空度（气压）控制中的上游模式和下游模式的特点及其新技术

（5） 彻底讲清如何在真空系统中实现压力和真空度的准确测量和控制

（6） 真空冷冻干燥过程中压力和真空度控制的最佳操作实践

（7） 微波等离子体高温热处理工艺中真空压力的下游控制技术及其装置

（8） 微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统中真空压力控制装置的国产化替代

（9） 高精度压强（真空）和温度同时控制技术在光谱测量和光谱仪中的应用

（10）具有双传感器自动切换功能的双通道24位高精度PID控制器

（11）CVD和MPCVD法钻石生长过程中采用双通道PID控制器控制真空度（气压）和温度

（12）电动针阀在上游模式以及电动球阀在下游模式真空度（压强）控制中的考核试验

（13）氢燃料电池膜电极漏率测试方法中存在的问题及改进措施

（14）国产化替代艾默生ER5000系列电子压力控制器及其功能扩展

（15）压降法在高温土壤气体渗透率测量中的应用及其实施方案

（16）美国MKS公司上游流量控制阀及其控制器的国产化替代

（17）真空浓缩过程中新型PID控制器和高速电动阀门对温度和压强的精确控制

（18）真空压力控制技术在低温恒温器高精度温度恒定中的应用

（19）手套箱中真空度和温度控制方法的详细教程

（20）真空激光粉末床融合中的气氛环境压力控制

（21）英福康（Inficon）VDE016和普发（Pfeiffer）EVR116气体控制阀及其控制器的国产化替代

（22）电动针阀和双通道控制器在真空冷冻干燥高精度压力控制中的应用

（23）TEC温控器：半导体制冷片新型超高精度温度程序PID控制器

（24）微纳卫星电热等离子体微推进器羽流特性测试中的低气压精确控制方法

（25）探空仪检定用低压环境模拟舱压力控制系统的升级改造

（26）瑞利-布里渊散射光谱测量中温度和压力的精确控制方法

（27）阶梯光栅光谱仪中压力的精密控制技术及其实施方案

（28）迈克尔逊激光干涉仪微位移和倾角测量中的真空度精密控制技术

（29）数控阀门在MOCVD工艺真空压力精密控制中的应用

（30）旋转蒸发仪：真空、温度和旋转的集成式控制器及其耐腐蚀数控调节阀

（31）真空微波干燥（VMD）过程中真空度、温度和转速的精密控制

（32）真空脉冲卤制工艺中的真空度和温度快速和精密控制技术

（33）气密真空冷热台的真空度精密控制

（34）月壤环境地面模拟试验装置中的真空度精密控制技术方案

（35）蒸发浓缩工艺中降低溶剂损耗的真空度精密控制解决方案

（36）低压渗碳工艺中的真空度精密控制解决方案

（37）采用真空压力精密控制的吸附夹具实现超低损耗单模光纤熔融拉锥制作

（38）玻璃塑形吹气压力自动控制解决方案

（39）超导重力仪器中的超高精度温度（0.1mK）和气压控制解决方案

（40）数字针阀在便携式真空计校准装置中的应用

（41）高精度气体压力控制中TESCOM ER5000及其配套背压阀的国产化替代案例分析

（42）CVD工艺中MKS下游排气高速节流阀的国产化替代方案及产品

（43）工业减压蒸馏工艺中大流量耐腐蚀快响应精密真空控制的解决方案

（44）低压缓冲罐的真空度精密控制解决方案

（45）低压与高压（负压与正压）之间的真空压力连续控制解决方案

（46）呼吸阀在线检验校准装置中的正负压连续精密控制解决方案

（47）循环肿瘤细胞（CTCs）检测仪器进样系统微小正负压精密控制的解决方案

（48）用于微流控芯片的多通道正负压力控制器解决方案

（49）CVD和PECVD管式炉真空控制系统的升级改造

（50）步进电机驱动比例阀在气腹机精密压力和流量控制中的应用