LCV-DS系列微型电动球阀是一款小型电动阀门,其执行器和阀体的一体化设计,减小了外形体积,价格低廉,常安装在密封容器和真空泵之间用于调节排气速率。
数控球阀在真空压力下游模式控制中的应用
二、特点
(1)可用于真空设备,漏率<5×10-11Pa.m3/s
(2)采用铜加不锈钢齿轮设计,精度高输出力矩大。
(3)外型小巧,结构紧凑,安装简易,适用于小型设备。
(4)运行电流低,可以使用电池供电。
(5)密封性能良好,防护等级IP67。
(6)寿命长达7万次到10万次。
三、技术指标
五、应用
(2)微纳卫星电热等离子体微推进器羽流特性测试中的低气压精确控制方法
(7)微波真空干燥(MVD)过程中真空度、温度和转速的精密控制
(13)低压与高压(负压与正压)之间的真空压力连续控制解决方案
(15)PVT法碳化硅SIC晶体生长工艺高精度压力控制解决方案及其配套装置的国产化替代
(18)防热材料热性能测试和炭化过程中的氧分压精密控制解决方案