低漏率真空用高速微型电动球阀（电控球阀）
Miniature Electric Ball Valve (Electric Control Ball Valve)

一、简介

LCV-DS系列微型电动球阀是一款小型电动阀门，其执行器和阀体的一体化设计，减小了外形体积，价格低廉，常安装在密封容器和真空泵之间用于调节排气速率。

数控球阀在真空压力下游模式控制中的应用

二、特点

（1）可用于真空设备，漏率<5×10^-11Pa.m³/s

（2）采用铜加不锈钢齿轮设计，精度高输出力矩大。
（3）外型小巧，结构紧凑，安装简易，适用于小型设备。
（4）运行电流低，可以使用电池供电。
（5）密封性能良好，防护等级IP67。
（6）寿命长达7万次到10万次。

三、技术指标

四、接线说明：

（1）红线：接DC9~24V正极。
（2）黑线：电压公共端。接电源电压、控制输入信号（0~10V）和位置反馈输出信号（PWM OC）的负极。
（3）黄线：错误输出信号（当有错误时开关闭合，没有错误时开关断开）。当电机工作电流过大时，比如当阀门有杂物档住球转不动时等，输出错误信号。
（4）绿线： 控制信号输入端（4 ~ 20mA / 0-5V / 0-10V ）正极。
（5）白线：位置OC反馈PWM信号输出端，100Hz，5%-95%， 表示0-90度。

五、应用

（1）上海依阳LCV-DS系列电动调节阀使用说明书

（2）微纳卫星电热等离子体微推进器羽流特性测试中的低气压精确控制方法

（3）探空仪检定用低压环境模拟舱压力控制系统的升级改造

（4）瑞利-布里渊散射光谱测量中温度和压力的精确控制方法

（5）阶梯光栅光谱仪中压力的精密控制技术及其实施方案

（6）数控阀门在MOCVD工艺真空压力精密控制中的应用

（7）微波真空干燥（MVD）过程中真空度、温度和转速的精密控制

（8）真空脉冲卤制工艺中的真空度和温度快速和精密控制技术

（9）月壤环境地面模拟试验装置中的真空度精密控制技术方案

（10）蒸发浓缩工艺中降低溶剂损耗的真空度精密控制解决方案

（11）低压渗碳工艺中的真空度精密控制解决方案

（12）低压缓冲罐的真空度精密控制解决方案

（13）低压与高压（负压与正压）之间的真空压力连续控制解决方案

（14）温敏材料干燥过程中的温度和真空度精密控制解决方案

（15）PVT法碳化硅SIC晶体生长工艺高精度压力控制解决方案及其配套装置的国产化替代

（16）微激光束焊接中真空控制系统的压力调节解决方案

（17）真空精密控制应用：在真空烘箱中干燥细粉的秘诀

（18）防热材料热性能测试和炭化过程中的氧分压精密控制解决方案

（19）低温烹饪装置中高精度压力和温度控制的解决方案

（20）双层玻璃反应釜真空压力（正负压）准确控制解决方案

（21）真空解冻过程中高精度真空度控制的解决方案

（22）啤酒发酵罐内部压力可编程全自动精密控制装置

（23）如何在食品油炸过程中实现真空压力的准确控制

（24）单晶生长过程中的0.1%超高精度真空压力控制解决方案

（25）可编程真空压力PID控制技术在脱气和固化工艺中的应用

（26）硅片氧化扩散退火设备中的真空压力精密控制解决方案

（27）包含高真空、低真空和正压的综合计量试验系统高精度控制解决方案

（28）精密低气压控制技术在石英灯和石墨加热器结构热试验装置中的应用

（29）同步辐射光源和原位透射电镜防止氮化硅薄膜窗口破裂的真空度控制策略

（30）真空度和气氛环境控制技术在LK-99超导材料烧结制备中的应用

（31）碳化硅高温氧化过程中的真空度和氧分压控制解决方案

（32）混合气体模拟放电装置中的真空压力控制解决方案

（33）真空压力控制技术中关键部件的国产化替代现状

（34）低温深冷表面结霜可视化实验装置的精密气压控制解决方案